特点

    • 能够满足class-2以上级别清净环境的设计

           • 200mm 和 300mm 皆可感知的传感器

           • 可适用的load-port

           • 感知信赖度高 (可感知有无晶圆, 双槽式晶圆（double slots wafer）

           • 不受晶圆涂层, notch以及晶圆位置的影响，可完成稳定的映射

           • 可兼容现有映射器command set

           • 易于现场改造与服务