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Modification Kit Assy
为2,300mm晶圆互换，改造load-port
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Available Loadport Model : Vision LP
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Available Loadport Model : Vision Leap
特点
- 能够满足ISO class-2以上级别清净环境的设计
- 增强设备应用能力（2,300mm晶圆工艺均可使用）
- 可降低设备投资成本
Load port modification detail
※ 选购本产品，提供现场安装服务。
Adapter Detail
- 适用于300mm Loadport
- 200mm 晶圆 adapter
- 可应用于各种Loadport的adapter
- 为维持清洁环境的Cover设计
