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事业领域
改善End Effector
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L公司产品国产化
可更换受污染的End Effector
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Fume造成腐蚀，致使机器手出现误动作
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可提供与现有产品相一致的国产End Effector
可更换新型End Effector
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ATM End Effector
Vacuum Grip Type
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VTM End Effector
Passive Type
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更换材质和涂层材料，
提高防腐蚀效果 -
O-去除O型圈(O-Ring)，
减少Pick Place Error -
提供与正品同等功能的
国产End Effector，降低成本 -
专业工程师更换Blade
并检查现场服务
感知wafer sliding End Effector
- 现存问题
- 利用现有Passive Type时，
wafer sliding 现象出现频率较高 - Pad 磨损带来的问题
- Solution : SMART End Effector
- 利用传感器，
可感知并管理wafer sliding现象 - 可实现产品国产化与pad更换
专利申请号 : 10-2019-0067546
适用工艺 : CVD, PVD, Metal 工艺
适用机器人 : B公司、Y公司机器手等
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量身定制服务
可提供符合现场情况的应对服务
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价格竞争力
实现产品国产化，降低成本
Pad磨损时，可更换新pad -
预防事故
预防wafer sliding
造成的晶圆破损事故
可预防真空腔内部事故 -
规格化
可实现sliding程度管理的规格化