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테스트pdf 파일.pdf (69.9K) 15下载 DATE : 2020-12-04 17:27:19

Adapter

特点

• 利用 Adapter，可以在300mm Loadport上使用200mm晶圆盒（wafer cassette）

• 易于安装和拆除

• 按照生产线清净度，可以选用Plate 型或Cover型。

• 各种附加选项（条码扫描器支架、固定支架等）

PLATE Adapter

COVER Adapter

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