특징

     • 클라스 2 이상의 청정 환경을 만족하는 설계

           • 200mm 웨이퍼와 300mm 웨이퍼를 모두 감지하는 센서

           • 적용 가능한 로드포트

           • 높은 감지 신뢰도 (웨이퍼 유무, 이중 슬롯 웨이퍼 감지 가능)

           • 웨이퍼 코팅, 노치 그리고 웨이퍼 위치에 영향을 받지 않는 안정적인 매핑 가능

           • 이전 매퍼의 커맨드 세트와 호환 가능

           • 현장 개조 및 서비스에 용이