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Brooks Automation

Reliance Robot 3,4axis
(Series 8 ATR)

Major OEM: 3axis: Novellus
Jusung, Rudolph

4axis: Lam, KLA, SemiLab
Reliance Robot Controller
(Series 8 Controller)

Major OEM: Novellus, Lam
Jusung, KLA, SemiLab
Rudolph
Aculigner
(Series 8 Aligner)

Major OEM: Novellus, Lam
Jusung, KLA, SemiLab
Rudolph
Razor Robot
(Series 9 ATR)

Major OEM: Novellus, Lam
Nanomatrix, Eugen tech
TES, matrix
Fusion Controller
(Series 9 Controller)

Major OEM: Novellus, Lam
Nanomatrix, Eugen tech
TES, matrix
Series 9 Aligner

Major OEM: Lam
Nanomatrix, Eugen tech
TES, matrix

PRI & EQUIPE

ATM 100

Major OEM: KLA
ThermaWave, Others
ATM 207

Major OEM: KLA
ThermaWave, Others
ATM 305

Major OEM: KLA
ThermaWave, Others
ABM 205

Major OEM: KLA
ThermaWave, Others
ABM 407

Major OEM: KLA
ThermaWave, Others
Pre Aligner ABM 200

Major OEM: KLA ThermaWave, Others
Pre Aligner ATM 300

Major OEM: KLA ThermaWave, Others

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ABM 205

ABM 407

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Pre Aligner ATM 300

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