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Modification Kit Assy
2,300mm 웨이퍼 호환을 위한 로드포트 개조
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Available Loadport Model : Vision LP
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Available Loadport Model : Vision Leap
특징
- ISO Class 2 이상의 청정 환경을 만족하는 설계
- 장비 활용도 증가 (2,300mm 웨이퍼 공정에 모두 사용 가능)
- 설비 투자비용 절감 효과
Load port modification detail
※ 해당 제품은 구매 시 현장 설치 서비스가 동반됩니다.
Adapter Detail
- 300mm 로드포트용
- 200mm 웨이퍼 어답터
- 다양한 로드포트에서 사용가능한 어답터
- 청정환경 유지를 위한 Cover 디자인
