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앤드이펙터 개선
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L사 제품 국산화
오염된 End Effector의 교체 가능
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Fume에 의한 부식으로 로봇 에러 발생
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기존 제품과 동일한 국산 End Effector 제공 가능
New Type End Effector로 교체 가능
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ATM End Effector
Vacuum Grip Type
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VTM End Effector
Passive Type
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재질 및 코팅 소재 변경으로
부식 방지 효과 -
O-ring 제거로
Pick Place Error 감소 효과 -
오리지널과 동일한 기능의
국산 엔드이펙터로 원가 절감 효과 -
전문엔지니어의 Blade 교체
및 현장 점검 서비스 동반
웨이퍼 슬라이딩 감지 End Effector
- 기존 문제점
- 기존 Passive Type의 웨이퍼 슬라이딩 이슈
- Pad 마모로 인한 이슈
- Solution : SMART End Effector
- 센서를 활용한 웨이퍼 슬라이딩 감지 및 관리 가능
- 제품 국산화, 패드교체 가능
출원 번호 : 10-2019-0067546
적용 공정 : CVD, PVD, Metal 공정
적용 로봇: B사, Y사 로봇 등
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고객 맞춤 서비스
현장 상황에 맞는
대응 및 서비스 가능 -
가격 경쟁력
제품 국산화에 따른 원가 절감,
패드 마모 시 패드 교체 가능 -
사고 예방
웨이퍼 슬라이딩으로 인한
웨이퍼 파손 예방,
로드락 내부에서의 사고 예방가능 -
규격화
슬라이딩 정도 관리의
규격화 가능