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End Effector

ATM 

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             • 적용 가능한 로봇 : G GB8, GB7

             • 사용 공정세정, Bumping , etc

             • BLUETECH  P/N : BT-19EGE000

             • 특징 : Vacuum Type,

                           기존 SUS 재질에서 CFRP  사용

             

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       • 적용 가능한 로봇 : B ATR 8 (Reliane), Y ATM etc.

             • 대체 가능한 모델 : B 179008,

                                         OEM 799-058309-003

             • 대체 가능한 패드 모델 : B 153935

                                                OEM 13-058027-001

             • 사용 공정 : ETCH, DIFF, etc.

             • BLUETECH  P/N : BT-19DLE000

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             적용 가능한 로봇 : B ATR 8 (Reliance) , etc.

             • 대체 가능한 모델 : B  002-8380-04

             • 사용 공정 : MI, Inspection

             • BLUETECH  P/N : BT-20FRE000

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             • 적용 가능한 로봇 : B ATR 8 (Reliance) , etc.

             • 대체 가능한 모델 : B 102891,

                                         OEM 02-357829-01

             • 사용 공정 : CVD, PVD, etc.

             • BLUETECH  P/N : BT-19CNE000


VTM
 

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             • 적용 가능한 로봇 : B Mag 7, etc.

             • 대체 가능한 모델 : B 108748 (Blade P/N: 109761)

             • 대체 가능한 패드 모델 : B 727-430108-001

             • 사용 공정 : CVD, PVD, ETCH, DIFF, etc.

             • BLUETECH  P/N : BT-20DLE000

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             • 적용 가능한 로봇 : B Mag 7, etc.

             • 대체 가능한 모델 : B 111982 (Blade P/N 112020)

             • 사용 공정 : CVD, PVD, ETCH, DIFF, etc.

             • BLUETECH  P/N : BT-20CJSY000

 

 

 

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