ATM
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• 적용 가능한 로봇 : G사 GB8, GB7 • 사용 공정: 세정, Bumping , etc • BLUETECH P/N : BT-19EGE000 • 특징 : Vacuum Type, 기존 SUS 재질에서 CFRP 사용
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• 적용 가능한 로봇 : B사 ATR 8 (Reliane), Y사 ATM etc. • 대체 가능한 모델 : B사 179008, OEM 799-058309-003 • 대체 가능한 패드 모델 : B사 153935 OEM 13-058027-001 • 사용 공정 : ETCH, DIFF, etc. • BLUETECH P/N : BT-19DLE000 |
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• 적용 가능한 로봇 : B사 ATR 8 (Reliance) , etc. • 대체 가능한 모델 : B사 002-8380-04 • 사용 공정 : MI, Inspection • BLUETECH P/N : BT-20FRE000 |
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• 적용 가능한 로봇 : B사 ATR 8 (Reliance) , etc. • 대체 가능한 모델 : B사 102891, OEM 02-357829-01 • 사용 공정 : CVD, PVD, etc. • BLUETECH P/N : BT-19CNE000 |
VTM
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• 적용 가능한 로봇 : B사 Mag 7, etc. • 대체 가능한 모델 : B사 108748 (Blade P/N: 109761) • 대체 가능한 패드 모델 : B사 727-430108-001 • 사용 공정 : CVD, PVD, ETCH, DIFF, etc. • BLUETECH P/N : BT-20DLE000 |
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• 적용 가능한 로봇 : B사 Mag 7, etc. • 대체 가능한 모델 : B사 111982 (Blade P/N 112020) • 사용 공정 : CVD, PVD, ETCH, DIFF, etc. • BLUETECH P/N : BT-20CJSY000 |
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