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03_[브로셔]_Loadport Adapter Kit영문_200406.pdf (121.2K) 28회 다운로드 DATE : 2021-02-18 11:18:11

Adapter

특징

• 300mm 로드포트에서 200mm 웨이퍼 카세트를 사용할 수 있도록 하는 장치

• 쉬운 장착 및 제거

• 라인 청정도에 따라 Plate 형, Cover형 중 선택 가능

• 다양한 옵션 (바코드 홀더, 고정 브라켓 등)

PLATE Adapter

COVER Adapter

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